探秘超精密抛光技术

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普通抛光是利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法。现在的光电子信息产业水平，对作为光电子基片材料的蓝宝石、单晶硅等材料的平行度要求越来越精密，已经达到了纳米级，抛光工艺也已随之进入纳米级的超精密程度。超精密抛光技术主要应用于集成电路制造、医疗器械、汽车配件、数码配件、精密模具、航空航天领域。超精密抛光技术的核心是抛光机的“磨盘”。超精密抛光对抛光机中磨盘的材料构成和技术水平的要求近乎苛刻，所以“磨盘”的材料是一个比较难攻克的技术，但是这正是机械加工的

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发布时间：2019-12-17 13:06:45

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来源：科普中国